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为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产、做到安全适用、技术优选、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、
| 基本信息 | |
|---|---|
| 出版社 | 中国计划出版社 |
| ISBN | 9155182065000 |
| 条码 | 9155182065000 |
| 编者 | 中华人民共和国工业和信息化 |
| 译者 | |
| 出版年月 | 2020-06-01 00:00:00.0 |
| 开本 | 其他 |
| 装帧 | 平装 |
| 页数 | |
| 字数 | |
| 版次 | 1 |
| 印次 | |
| 纸张 | |
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